近日,工业和信息化部正式公布《2018年工业强基工程重点产品、工艺“一条龙”应用计划示范企业和示范项目名单》,国家电投黄河公司被选入示范企业,“电子级高纯多晶硅工艺系统升级改进项目”“用于芯片硅外延制造的三氯氢硅产业化研究”两个项目毫无悬念地上榜。
黄河公司
及其晶硅材料和特种气体两个项目
同时入选示范企业和示范项目名单
也是国家电投和青海省唯一入选的企业和项目
将获得国家的重点支持
为集团公司建设世界一流清洁能源企业注入新动力!
国家为推进落实《中国制造 2025》,切实解决工业基础产品和工艺应用难题,实施工业强基工程重点产品、工艺“一条龙”应用计划。在存储器领域,从上游材料、生产设备、制造工艺平台、下游应用等四个方面推动基础领域发展与产业应用良性互动。
2010年
黄河公司建成年产2500吨电子级多晶硅项目,采用世界上先进、成熟的改良西门子法电子级多晶硅生产工艺,技术先进、成熟、可靠。产品通过CZ 或FZ 法等技术制成单晶并切片后,可制成6 英寸、8 英寸、12 英寸不等的半导体硅片,继而用于制作半导体器件或集成电路,是存储器“一条龙”产业链的上游基础材料。
2014年
依托已经建成的电子级多晶硅生产线,黄河公司承担了《极大规模集成电路制造装备及成套工艺》(02专项)电子级多晶硅材料研发,于2015年12月完成专项攻关,产品质量达到国外主要电子级多晶硅生产企业质量标准,填补了国内半导体应用材料国产化的空白。
目前
国内用于集成电路产业的电子级多晶硅85%依赖进口。黄河公司生产的电子级多晶硅产品质量超过GB/T12963-2014 电子1级多晶硅要求,产品成功通过下游企业12 英寸半导体单晶硅片试制、测试、评估,成为国内第一家完成12 英寸硅片验证的企业。
2014年起,黄河公司连续四年批量应用于国内3-8英寸半导体硅片生产企业,占国内市场15%,是国内唯一一家批量生产且拥有市场占有率的多晶硅企业,成功打破了国外垄断,摆脱了我国集成电路产业关键集成原材料受制于人的局面,提高了集成电路产业上游关键基础材料的战略安全,保障了包括存储器在内的集成电路产业链发展。为持续改进产品质量,进一步提高产能、降低成本,黄河公司目前正在实施电子级多晶硅工艺系统优化升级改进项目。
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本期编辑 周心、杜玉、陈凯茜
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